Корнева О. С. , Блейхер Г. А. , Вахрушев Д. О. , Иванова А. И. «Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность» // Известия вузов. Физика 2022. №11 C.65-69
Поиск по сайту
Последние новости
Контактные данные
- 634050, Россия, г. Томск, пр. Ленина, д. 36
- Пермякова Людмила Валентиновна, ответственный секретарь
- +7 (3822) 78-37-02
- physics@mail.tsu.ru
Вы можете добавить статью